日本電子、レーザー加工SEMシステム「LazEdge」を発売、高品質な断面解析を迅速化

2026-03-10 05:45

日本電子株式会社が、レーザー加工装置を搭載した走査電子顕微鏡(SEM)システム「LazEdge(レイズエッジ)」を開発し、2026年5月25日より販売を開始しました。この新システムは、試料室内での高速かつ高品質な断面加工を可能にし、金属、電池、半導体など幅広い分野の解析ニーズに応えます。

概要

日本電子株式会社は、レーザー加工装置を搭載した走査電子顕微鏡(SEM)システム「LazEdge(レイズエッジ)」を開発し、2026年5月25日より販売を開始しました。本システムは、浜松ホトニクス社製の独自のレーザー技術を日本電子のSEMに融合させたものです。

レーザー加工SEMシステム概要：高品質な断面加工を試料室内で実現、クリーンな状態で安定した加工、加工と観察をスループットよくシームレスに実現

本体標準価格：170,000,000円～

販売予定台数：10台/年

LazEdgeの革新的な機能

LazEdgeは、電子顕微鏡試料室内でレーザー加工を行うことを可能にした画期的なシステムです。従来、集束イオンビーム発生装置(FIB)を中心とした断面加工装置は研究機関や産業界で広く利用されてきましたが、近年では加工面のクオリティーだけでなく、大面積かつ高速な加工ができる装置への需要が高まっていました。

本システムは、空間的にレーザー光の位相変調を行える独自の光学系を採用することで、試料室内で高速かつ広範囲にわたり、リップス構造が少ない高品質な断面加工を実現します。さらに、独自のシールド技術「LazEdge Shield」により、加工時に発生するデブリの飛散を最小限に抑え、検出器や鏡筒などを汚すことなくクリーンな加工を維持します。このシールド技術は、加工と同時にシールド自体のクリーニングも可能にし、常に安定したパワーで高品質な加工を保証します。

シームレスな解析プロセスと幅広い応用分野

LazEdgeは、SEM試料室内にシールドを設置して加工を行うことで、加工から観察、元素分析、結晶方位解析といった各種解析までを、試料室外に開放することなくシームレスに移行できる点が大きな特長です。これにより、金属試料解析をはじめ、大気非暴露が求められる電池解析、高速断面加工が必要な半導体の故障解析など、多様なニーズに対応します。

特に、EBSD測定においては、レーザー加工のみで測定に必要な品質の断面が得られるため、加工と測定を自動的に繰り返すことで3D EBSDの取得も可能となり、研究開発の効率化に大きく貢献します。