工学院大学、水銀フリーの次世代真空紫外光源技術を開発～殺菌・消毒から半導体製造まで応用可能～

2026-06-19 02:33

工学院大学の尾沼猛儀教授(応用物理学科)は、水銀を使用せずに185～200nmの真空紫外域に対応する、岩塩構造酸化マグネシウム亜鉛半導体を用いた光源技術を開発しました。

概要

工学院大学は、環境負荷の少ない次世代紫外光源の開発に取り組んでいます。このたび、水銀を使わずに185～200nmの真空紫外域に対応する、岩塩構造酸化マグネシウム亜鉛半導体を用いた光源技術を開発しました。2026年7月9日にオンライン開催されるJST新技術説明会において、最新研究成果と産業応用の可能性を企業に向けて紹介し、社会での技術活用を進めます。

技術の要点：

水銀フリーの半導体ベース真空紫外光源技術

185～200nm域で、波長選択可能な光源の実現を目指す

殺菌・消毒、浄水処理、半導体製造における微細加工・新材料成膜プロセスなどへの応用を想定

水銀規制に対応する革新的な紫外光源技術

「水俣条約」により、水銀を使用する低圧水銀灯の代替光源開発が求められています。低圧水銀灯の254nmについては代替が進んでいますが、210nm以下の発光は難しいとされています。また、エキシマランプやレーザは、リソグラフィなどの特殊用途には適していますが、発光波長が限られることやガス価格の高騰などから、汎用装置としての普及には課題があります。

本技術では、ミスト化学気相堆積法により、岩塩構造酸化マグネシウム亜鉛半導体を用いた構造を製作しました。水銀を使用しない半導体材料により、低圧水銀灯の185nm輝線を含む185～200nmの真空紫外域で、波長選択可能な水銀フリー光源の実現を目指す点に特徴があります。

幅広い産業分野への応用と将来性

本技術の実用化によって、医療現場、工場、公共施設などにおける殺菌・消毒用途、環境負荷を低減した高度浄水処理システムへの応用が期待されます。また、半導体製造分野では、微細加工や新材料の成膜プロセスなどへの展開も想定されます。将来的に発光効率が向上することで、カーボンニュートラルへの貢献も見込まれます。

特許情報

発明の名称：原料供給装置、成膜装置、原料供給方法および成膜方法

発明者　　：尾沼猛儀、山口智広、小川広太郎、愛智宏行

出願人　　：学校法人工学院大学

出願番号　：特願 2025-119206