ラムリサーチ、NIMSの研究プロジェクトを支援：中国人研究者・達博博士の先進的な半導体材料研究に注目

概要

ラムリサーチは、日本および北米において、国立研究開発法人物質・材料研究機構(NIMS)への特別寄付を発表しました。この寄付により、達博博士が主導する最先端半導体の製造に用いられるエッチング装置に関するプラズマにさらされる重要材料やコア部品の研究開発と実用化が進められます。成果は、TSMCをはじめとする最先端半導体の量産ラインでの活用が見込まれています。

寄付の対象となる研究プロジェクト：最先端半導体製造に用いられるエッチング装置に関するプラズマにさらされる重要材料やコア部品の研究開発と実用化

研究開発の主導者：達博博士（NIMS主任研究員）

期待される活用先：TSMCをはじめとする最先端半導体の量産ライン

寄付発表日：2026年4月8日

達博博士の革新的な研究アプローチ

今回のラムリサーチによる寄付は、中国籍の研究者が主導する重要技術の研究が、寄付という形で公開・支援される極めてまれな事例です。達博博士は、中国科学技術大学で学び理学博士号を取得後、NIMSに入所し、主任研究員として半導体の電子ビームおよびエッチング装置に関する重要材料やコア部品の研究開発と実用化に長年携わってきました。一般的に詳細が外部に公開されにくいエンジニアリング分野において、達博氏のチームは基礎科学分野で継続的な研究を行い、公開可能な独創的な成果を生み出し続けています。この独自の研究アプローチと問題意識が、国際的な大手装置メーカーからの継続的な注目と支援の理由となっています。

「材料で、世界を変える」という先見性

「材料で、世界を変える」というNIMS公式サイトのキャッチコピーは、達博氏が提唱したもので、同氏の長年の研究姿勢を象徴しています。達博氏のチームは、世界で初めて円柱対称回転結晶の開発に成功し、従来の結晶学の枠組みを覆す新しい結晶構造を基盤とした「電子ビーム光学」という新たな研究分野を切り拓きました。これは、材料による電子の回折を利用して運動軌道を制御する手法であり、次世代の並列電子ビーム描画装置の実現に向けた重要な技術的道筋を示しています。この技術は、従来の電磁場を用いた電子制御に比べ、より少ない構造で多数の電子を同時に処理できる可能性があり、装置の小型化と効率の大幅な向上につながると期待されています。

数々の「初」が切り拓く半導体技術の未来

ラムリサーチが達博氏のチームへ戦略的寄付を行ったことは、多くの象徴的な「初」を示しています。中国籍の研究者が主導する共同プロジェクトへの公的な支援は、現在の産業環境において極めて珍しいことです。達博氏は、NIMSで半導体装置研究を継続し、重要分野で確固たる存在感を示しています。2016年にはNIMSの終身職を最年少クラスの外国人研究者として獲得し、研究所の最高栄誉である「理事長賞」も最年少で受賞しました。さらに、花王、日立、住友といった有力企業・研究機関からの研究支援や表彰、国際舞台での栄誉も数多く受けており、その研究水準の高さは広く認められています。円柱対称回転結晶の発見は、日本科学技術振興機構(JST)の橋本和仁理事長から「準結晶の発見に匹敵する独創的な意義を持つ」と評価されており、半導体製造分野への応用だけでなく、材料分析や量子計算といった分野への展開も期待されています。

まとめ

ラムリサーチによるNIMSの研究プロジェクトへの寄付は、達博博士を中心とした革新的な半導体材料研究への期待を示すものです。達博士の独創的な研究成果と、それを産業応用へとつなげるアプローチは、半導体技術の未来を切り拓く可能性を秘めています。